神奈川県|MDCOMのエキシマランプ

【無料の企業PR広告】
■該当件数21件 | <前へ | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 | 12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 | 19 | 20 | 21 | 次へ>
TOP > 神奈川県 > 株式会社エム・ディ・コム

MDCOMのエキシマランプ


ランプ冷却は内管にN2ガスを流し、さらにチャンバの上壁を水で間接的に冷却する構成になっています。温度による照度変動を極力少なくしています。
 ランプに封入される奇ガスや希ガスハライドの種類により、用途に応じて真空紫外光からさまざまな波長の光が照射可能です。(表.1)
 エキシマランプ(172nm-Xeランプ)の照度は管面で50mw/cm2以上です。照度は大気中で酸素ガスなどの吸収により減衰する。(図・4)真空中では酸素による吸収がなく図に示す窒素雰囲気と同等の照度になります。
 動作真空度は大気圧〜9.9×10E-5(Pa)です。管面より3mmの照度は25mw/cm2以上で分布は±20%以内です。